Dünnfilmmesssystem

  

Das System ermöglicht Oberflächen- bzw. Schichtdicken-messungen zwischen 5 nm und 200 µm. Interessant ist das System für alle Dick- und Dünnfilm-anwendungen auf Halbleitern, weichen Materialien, Kunststoffen, Glas, Metallen, Papier und anderen Trägern. Das Spektrometer zeichnet sich durch einen sehr geringen Streulichtpegel aus. Es können auch rauhe Oberflächen oder Multilayer-Beschichtungen vermessen werden.

Eine durch Weisslicht bestrahlte Probe erzeugt je nach Schichtdicke ein spezifisches Interferenzmuster. Aus den spektralen Messwerten wird mathematisch die Schichtdicke errechnet.

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Die Highlights

umfangreiche Software mit Materialbibliothek

Addition neuer Materialkoeffizienten möglich

robustes Design

Die wichtigsten Spezifikationen:
Werte:
Schichtdicken:
5 nm ... 200 µm
Anregungslampen:
Halogen und/oder Deuterium
Schnittstelle:
USB2.0

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