- Restgasanalysatoren mit geschlossener Ionenquelle

  

Die Serie CIS ist für das große Feld der Halbleiter-, Gas-, Hochvakuum- und Ultrahochvakuum-Anwendungen entwickelt worden.

Das System besteht aus Ionisator mit Quadrupolfilter und Detektor, Elektronikeinheit und Echtzeit-Software auf Windowsbasis. Der Meßkopf enthält einen Faraday-Detektor. Zur Steigerung der Empfindlichkeit und Verkürzung der Meßzeiten kann zusätzlich ein Sekundärelektronenvervielfacher (SEV) eingebaut werden.

Durch Autokalibrationsroutinen ist ein nachträglicher Einbau oder Austausch des SEV sowie des Filaments vom Anwender selbst vornehmbar. Ebenso kann binnen weniger Minuten das Filament ersetzt werden.

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Die Highlights

detektionsfähig bis 1 ppm

einfacher Multiplier- und Filament-Austausch

Druckbereich 10exp(-2) bis 10exp(-12)

Die wichtigsten Spezifikationen:
Werte:
Messbereiche:
bis 100, 200 oder 300 amu
Betriebsmodi:
RGA und CIS
Schnittstelle:
RS232

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