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UGAPM100, UGAPM200 & UGAPM300

Prozessüberwachungssystem mit Gasanalyse bis 300 amu

Highlights

  • 100, 200 und 300 amu-Systeme
  • Rückmeldezeit <1,5 s
  • Mehrpunktanalyse
  • Mehrbereichsanalyse
  • Sehr geringes Totvolumen
  • System Bakeout
  • Heizleitung für Proben
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Produktbeschreibung & Vorteile von UGAPM100, UGAPM200 & UGAPM300

High-End-Lösung mit hoher Auflösung

Die Prozessüberwachungsserie UGAPM wurde entwickelt, um Prozessgase zu analysieren. Die arbeiten im Bereich von 20 Torr bis 1 mTorr. Dabei misst der Einlass kontinuierlich Gasproben bei geringer Durchflussrate (ca. 5*10-5 mbar L/s). Somit ist das Gerät ideal für In-Line-Analysen.

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Datenblatt & Downloads

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Handbuch
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