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PPR100, PPR200 & PPR300

Vakuum-Prozessüberwachungssystem bis 300 amu

Highlights

  • 0,01; 0,1; 1,0 oder 10 Torr Eingangsdrücke
  • 3*10-5 Torr-L/s Durchflussrate
  • Reaktionszeit 2 s bei 0,1 Torr
  • 100, 200 oder 300 amu-Systeme
  • 6 Größenordnungen Dynamikbereich
  • RGA-Windows-Software
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Produktbeschreibung & Vorteile

Zwei Pfade für präzise Ergebnisse

Das PPR-Prozessüberwachungssystem wurde In-Line Prozessüberwachung und -diagnose entwickelt. Zu dem System gehören zwei Pfade, die mit dem Restgasanalysator (RGA) verbunden sind: ein hochleitender Pfad für die Messung der Vakuumbasis sowie ein Druck reduzierender Pfad, um Prozesse bei Betriebsdruck zu überwachen.

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Datenblatt & Downloads

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Handbuch
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