Highlights
- 200 µm max. unbelastete Auslenkung
- Kompakte Abmessungen (22 mm x 100 mm x 100 mm)
- 2 nm Auflösung
- 580 Hz unbelastete Resonanzfrequenz
- Dehnungsmesstreifen, Vakuumausstattung & Wirbelstromsensoren verfügbar
Produktbeschreibung & Vorteile von XY200M
Kompakt und präzise
Der piezoelektrische Kreuztisch XY200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Seine Anwendungen umfassen z. B. Maskenpositionierung, Atomkraft- und Rastertunnelmikroskope.
Basierend auf dem APA®-Konzept entwickelte CEDRAT TECHNOLOGIES verschiedene Mechanismen, um die Nachfrage seiner Kunden nach mehreren Freiheitsgraden in der Kinematik zu erfüllen. Diese Mechanismen profitieren vom APA®-Konzept, das seinen Anwendern eine verlässliche, robuste, präzise und kompakte Lösung bietet. Diese Standardmechanismen sind aktuell erhältlich, um verschiedenste Anforderungen bezüglich Kinematik und Kraft zu erfüllen.
- X-Piezotische: Einachsige Piezotische profitieren von Charakteristiken und Biegeführung der APA®-Aktoren und bieten somit exzellente Kompaktheit, Robustheit, Bandbreite und Auflösung.
- XY-Piezotische: Zweiachsentische können mit Dehnungsmessstreifen ausgestattet und somit für präzise Positionierung in Regelungen integriert werden.
- XYZ-Piezotische: Zweiachsentische können mit einer dritten Bewegungsachse erweitert werden, um somit drei Freiheitsgrade zu erreichen
