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CIS100, CIS200 & CIS300

Geschlossener Ionenquellen-/Gasanalysator bis 300 amu

Highlights

  • 100, 200 und 300 amu-Systeme
  • 1 ppm Detektionsgrenze
  • 10 mTorr maximale Betriebsdruck
  • 1*10-12 Torr Detektionsgrenze
  • RGA-Windows-Software
  • Mehrkopfbetrieb möglich
  • RGA- und CIS-Modus
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Produktbeschreibung & Vorteile von CIS100, CIS200 & CIS300

Hochgenau und verlässlich

Mit der Detektionsgrenze <1 ppm, Direktsampling bei mTorr-Druck und benutzerfreundlichem Windows-Softwarepaket, erfüllen die CIS-Systeme anspruchsvollste Aufgaben. In-Line-Prozessüberwachung und -regelung, Verifizierung von Prozessgasreinheit direkt an der Stelle der Verwendung, Restgasanalyse im Hochvakuum und Lecküberwachung der Prozesskomponenten sind nur einige der Anwendungen bei denen dieses System unverzichtbar ist.

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Datenblatt & Downloads

Datenblatt (en)
Handbuch
Broschüre

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