Highlights
- 0,01; 0,1; 1,0 oder 10 Torr Eingangsdrücke
- 3*10-5 Torr-L/s Durchflussrate
- Reaktionszeit 2 s bei 0,1 Torr
- 100, 200 oder 300 amu-Systeme
- 6 Größenordnungen Dynamikbereich
- RGA-Windows-Software
Produktbeschreibung & Vorteile
Zwei Pfade für präzise Ergebnisse
Das PPR-Prozessüberwachungssystem wurde In-Line Prozessüberwachung und -diagnose entwickelt. Zu dem System gehören zwei Pfade, die mit dem Restgasanalysator (RGA) verbunden sind: ein hochleitender Pfad für die Messung der Vakuumbasis sowie ein Druck reduzierender Pfad, um Prozesse bei Betriebsdruck zu überwachen.
Bitte fordern Sie weitere Informationen und Beratung über das Kontaktformular unten an.
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