Highlights
- 120, 220 und 320 amu-Systeme
- Integrierte I/O-Ports, Relais und GPIO
- 8 Größenordnungen Dynamikbereich mit nur einem Scan
- 5*10-14 Torr Detektionsgrenze
- Automatisches Peak-Tuning
- Neue RGASoft Windows-Software
- Hybrid-Elektrometer für verbesserte Basislinienempfindlichkeit
- USB-, RS-232- und Ethernet-Schnittstellen
Produktbeschreibung & Vorteile von RGA120, RGA220 & RGA320
Komplett überarbeitet mit erweitertem Messbereich
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Restgasanalysatoren der RGA120-Serie
Die 120, 220 und 320 amu Restgasanalysatoren von SRS bieten Ihnen außergewöhnliche Leistung und Mehrwert. Die RGAs ermöglichen eine detaillierte Gasanalyse von Vakuumsystemen zum etwa halb so hohen Preis wie Konkurrenzmodelle. Jedes RGA-System wird komplett mit einer Quadrupolsonde, einer elektronischen Steuereinheit (ECU) und einem Echtzeit-Windows-Softwarepaket geliefert, das für die Datenerfassung und -analyse sowie zur Sondensteuerung verwendet wird.
Stabiles Sondendesign
Die Sonde besteht aus einem Ionisator, einem Quadrupol-Massenfilter und einem Detektor. Das einfache Design besteht aus wenigen Teilen, was die Ausgasung minimiert und das Risiko verringert, dass Verunreinigungen in Ihr Vakuumsystem gelangen. Die Sondenbaugruppe ist robust und lässt sich auf einem standardmäßigen 2,75-Zoll-Conflat-Flansch montieren. Sie ist in einem Edelstahlrohr eingeschlossen, mit Ausnahme des Ionisators, der nur 2,5 Zoll Freiraum in Ihrem Vakuumsystem benötigt – etwa so viel wie ein Standard-Ionenmessgerät. Die Sonde besteht aus selbstausrichtenden Teilen, sodass sie nach der Reinigung leicht wieder zusammengebaut werden kann.
Kompakte elektronische Steuereinheit
Kompakte elektronische Steuereinheit
Einzigartiges Filamentdesign
Kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
Automatisches Peak-Tuning
Effiziente HF-Erzeugung mit dynamischer HF-Resonanzfrequenzverfolgung sorgt für eine größere Massenreichweite. Es ermöglicht außerdem eine automatisches Peak-Tuning mithilfe unabhängiger RF/DC-Steuerung und erhöht dabei gleichzeitig die Scangeschwindigkeit auf bis zu 130 amu/s (260 amu/s mit 10 Punkten pro amu).
Neues Hybridelektrometer im RGA120, RGA220 und RGA320
Das Hybridelektrometer mit erweitertem Dynamikbereich arbeitet als linearer Verstärker mit niedrigem Strom (<1 nA) und als logarithmischer Verstärker mit höherem Strom (bis zu 2 µA). Bei niedrigen oder negativen Stromwerten führt der lineare Modus zu einer verbesserten Grundlinienempfindlichkeit
Das temperaturkompensierte Hybrid-Log-Elektrometer erkennt Ionenströme von 10-7 bis 10-15 Ampere in einem einzigen Scan mit einer Genauigkeit von besser 2 %. Somit ermöglicht der große Dynamikbereich die gleichzeitige Messung kleiner und großer Gaskonzentrationen.
Integrierte I/O-Schnitstellen
Ein umfangreicher Satz an Ein-/Ausgangsanschlüssen ermöglicht die Überwachung und Steuerung des RGA und ermöglicht auch eine externe Prozesssteuerung. Ein externer Scan-Trigger, ein konfigurierbares ereignisbasiertes Relais, GPIO und ein RTD-Eingang zur Temperaturüberwachung während des Scans sind integriert. Ein Analogausgang liefert ein Signal, das proportional zu jeder abgetasteten Variablen, einschließlich Partialdruck ist.
Vollständig programmierbar
Die Kommunikation mit Computern erfolgt über USB-, Ethernet- oder RS-232-Schnittstellen. Analog- und Histogramm-Scans (Balken), Leckerkennung und Sondenparameter werden alle über einen umfangreichen SCPI-Befehlssatz gesteuert und überwacht. Das ermöglicht eine einfache Integration in bestehende Programme.
RGASoft Windows-Software
Die vollständig neu entwickelte RGASoft Windows-Anwendung ist im Lieferumfang enthalten. Mit einem breiten Funktionsumfang und einem modernen User-Interface werden Scandaten in Echtzeit erfasst und angezeigt oder für die Erfassung in einem bestimmten Zeitintervall zur langfristigen Datenprotokollierung geplant. Mehrere Spektraldatensätze und Einzelmessungen können in einer Sequenz zusammengefasst werden. Vielseitige Andockfenster und Widgets bieten dem Benutzer verschiedene Möglichkeiten, die Anzeige zu organisieren. Daten können manuell oder automatisch im linearen oder logarithmischen Format in Diagrammen skaliert werden. Als Einheiten sind Torr, Bar, Pascal und Amp wählbar. Zu den Funktionen gehören gängige Gasmarker, programmierbare akustische und visuelle Alarme, eine erweiterbare Bibliothek, Zusammensetzungsanalyse und umfassende Online-Hilfe.
Die Software ermöglicht außerdem eine vollständige RGA-Steuerung mit einfacher Abstimmung der Massenskala, Empfindlichkeitskalibrierung, Ionisator-Einrichtung und Einstellung der Elektronenvervielfacherverstärkung. Zur weiteren Analyse können Datendateien im CSV-Textformat gespeichert werden, um sie einfach in Tabellenkalkulationsysteme zu importieren. Grafiken können in gängigen Formaten (PNG, BMP, TIFF, JPG, SVG, PDF) gespeichert oder in die Zwischenablage kopiert werden, um sie direkt in andere Programme zu importieren.
Die Software unterstützt den Betrieb mehrerer Messköpfe, wenn mehr als ein RGA benötigt wird. Mehrere RGAs können gleichzeitig mit mehreren Softwareinstanzen gesteuert werden. Die Anzahl der RGAs ist nur durch die Systemressourcen begrenzt.
Performance und Mehrwert
