Highlights
- 180 µm max. unbelastete Auslenkung
- Kompakte Größe (44 mm x 100 mm x 100 mm)
- 20 nm Auflösung
- 380 Hz unbelastete Resonanzfrequenz
- 1,32 ms Ansprechzeit
- Dehnungsmessstreifen, Vakuumausstattung & Wirbelstromsensoren verfügbar
Produktbeschreibung & Vorteile von XYZ200M
Kompakt und präzise
Der XYZ200M Piezotisch basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Seine Anwendungen umfassen konfokale Mikroskopie, Maskenpositionierung, Inspektion und weitere.
Basierend auf dem APA®-Konzept entwickelte CEDRAT TECHNOLOGIES verschiedene Mechanismen, um die Nachfrage seiner Kunden nach mehreren Freiheitsgraden in der Kinematik zu erfüllen. Diese Mechanismen profitieren vom APA®-Konzept, das seinen Anwendern eine verlässliche, robuste, präzise und kompakte Lösung bietet. Diese Standardmechanismen sind aktuell erhältlich, um verschiedenste Anforderungen bezüglich Kinematik und Kraft zu erfüllen.
- X-Piezotische: Einachsige Piezotische profitieren von Charakteristiken und Biegeführung der APA®-Aktoren und bieten somit exzellente Kompaktheit, Robustheit, Bandbreite und Auflösung.
- XY-Piezotische: Zweiachsentische können mit Dehnungsmessstreifen ausgestattet und somit für präzise Positionierung in Regelungen integriert werden.
- XYZ-Piezotische: Zweiachsentische können mit einer dritten Bewegungsachse erweitert werden, um somit drei Freiheitsgrade zu erreichen
